半導體電子行業應用

紅外測溫廣泛應用于半導體電子行業,和傳統的熱電偶等接觸式測溫儀相比,紅外測溫具有響應時間快、屬于非接觸無損檢測(不會對被測目標表面產生任何影響)、能夠測量從點到面的溫度及熱分布、適用不斷移動的物體、使用安全且工作壽命長等優點。
紅外測溫儀在半導體電子行業例如精密集成電路檢測、晶圓CMP工藝、晶硅原料生產、芯片設計研發制造等眾多領域得到普遍使用和高度認可。
近年來, 半導體電子行業已成為國家大力扶持、巨額投入的核心基礎產業,深圳歐普士紅外測溫產品持久助力半導體行業的蓬勃發展。
成功案例一

2021年8月 安徽某著名高校-精密集成電路板檢測
客戶收益:
使用深圳歐普士高清顯微紅外熱像儀, 清晰顯示電路板的溫度分布、快速發現并準確定位熱缺陷,顯著提高在PCBA布局優化、散熱效果分析、電路能耗設計等方面的效能。
成功案例二

2022年1月 浙江某半導體電子設備制造公司
客戶收益:
通過采用深圳歐普士紅外測溫儀和熱像儀,實時精準監測CMP過程中的拋光膠體溫度及熱均衡分布狀況,確保全制程始終處于最佳的工藝要求,達到最理想的晶圓平坦化拋光效果。
客戶需求:
化學機械拋光(CMP)是半導體集成電路制造過程中實現晶圓表面平坦化的關鍵工藝,需要在此過程中實時精準檢測點膠溫度以及晶圓表面的熱均勻性。

解決方案:
深圳歐普士提供的緊湊型測溫儀和熱像儀,非常適合集成于CMP設備系統模組,實時輸出反饋信號到系統主機進行聯動操作。